Thin Film Processes II

Thin Film Processes II

Vossen, John L., Kern, Werner(eds.)
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This book gives a clear, practical exposition of important thin film deposition and etching processes that have not yet been adequately reviewed. It discusses selected processes in tutorial overviews with implementation guide lines and an introduction to the literature.
Categorie:
Engineering
Anno:
1991
Casa editrice:
Elsevier
Lingua:
english
Pagine:
893
ISBN 10:
0127282513
ISBN 13:
9780127282510
File:
PDF, 22.19 MB
IPFS:
CID , CID Blake2b
english, 1991
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    Termini più frequenti

     
    deposition
    plasma
    surface
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    deposited
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    technol
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